日本东丽toray半导体制造设备氧气计LC-860

测量原理

氧化锆轻型电池

形状

桌面型/面板安装型

显示方式

6位数字显示（密度显示）

测量范围

0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2　10 -20?10 -0大气压
自动/固定范围

重复性

氧气浓度在±1％FS之内且小于1ppm和0-1ppm，大气压范围超出保证的浓度范围

取样方式

内置泵的连续吸入型

样气条件

压力

加压30 KPa以下

流量

?1,500mL /分钟

湿度

露点低于环境温度

温度

0-50℃

其他

不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。

比较气

大气层

记录仪
输出

氧气浓度输出

4-20mA / 0-10V 4-20mA
：绝缘，负载电阻为600Ω或更低
0-10V：绝缘，负载电阻为500Ω或更高
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度

输出范围

0-100，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm，0-1ppm，10 -20 -10 -0　或自动/固定范围的任意4个范围

变速箱输出

RS-232C

报警输出

失败（设备错误）

1分

非电压接点，接点容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小
由于设备异常，触点闭合（可以更改触点操作）

ALM（浓度警报）

2分

非电压接点，接点容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小
发生警报时触点闭合（可以更改触点操作）

RDY（预热信号）

1分

非电压接点，接点容量24VDC / AC或更小，0.5A或更小
预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）

• 无电压触点的z小开关容量为12V或更高，并且不能承受微小的负载。

MRK（范围标记）输出

3分

非电压接点，接点容量24VDC / AC以下，0.1A以下

热身时间

20分钟以内

尺寸

身体

288（W）x 144（H）x 400（D）mm（不包括突起）

大众

约10kg

气体
连接口

进口

Rc1 / 8

旁路输出

Rc1 / 8

出口

Rc1 / 4

使用电源

100-120VAC±10％200VA 50Hz / 60Hz的