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大多数金属可用酸作为腐蚀液。对于某些不溶于一般氧化性酸的金属，需用氧化性酸与配合剂组成的混合液。例如，在常温下相当稳定的金属钛， 与硝酸-清氟酸的反应可表达如下：Ti+4HNO3+6HF H2[TiF6]+4NO2+4H2O 对于具有两性的金属，如铝、铬等，也可用碱作腐蚀液。制作印刷电路 时，腐蚀带有铜箔的绝缘板所用的氧化剂是三氯化铁，它与铜的反应可表达 如下： Cu+2FeCl3 CuCl2+2FeCl2 化学蚀刻 这是将金属表面按规定的部位用腐蚀液使之溶解，而在工 件上留下凹槽或孔洞的一种加工方法。 为了成批生产，这类加工工艺是采用光刻法进行的。待加工金属工件被涂覆一层具有抗蚀能力的保护层，这种保护材料称为光致抗蚀剂①，在其上方 放置一按需要绘制的图版(俗称掩膜底版)进行曝光。由于图版中有透明部分 和不透明部分(即墨线处)，曝光后在抗蚀剂膜上留下了相对应的曝光部分和 未曝光部分。由于曝光后这种已经过抗蚀剂的涂覆使金属表面对溶剂的溶解 能力发生了变化，在用溶剂处理以后，金属表面会留下不溶性的保护膜，它 具有抗蚀作用而保护金属免受腐蚀，而未经保护的金属表面在腐蚀液的作用 下则留下了所需的凹槽。蕞后去除抗蚀剂膜即为所需成品。 |
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