光氧废气处理设备是先将集气系统收集的废气输送到碱式吸收塔中，将废气由下而上输入，碱液通过喷淋的方式由上而下喷淋废气，经过吸收塔处理后的气体在经过一层水幕除尘后输入燃烧塔中。此过程去除了废气中含有的部分酸性气体和粉尘。废气仍然由下而上进入燃烧塔，在燃烧塔中燃烧后，除去了废气中含有的有机物，后再经过一层水幕除尘过程，再去除气体中因燃烧产生的粉尘，燃烧后的二氧化碳和水就排入大气中即可。
特点：
① 能解决大气污染，改善作业环境空气质量。
② 运行程序化、智能化，可连续运行或间断式运行。
③ 不产生臭氧，对呼吸系统无刺激；对管道及设备无腐蚀性，并对仪器仪表有保护作用。
④ 设备可依附于通风系统上，不需要占用很大的空间。
光氧废气处理设备
固体表面吸附了吸附质后，一部被吸附的吸附质可从吸附剂表面脱离，此现附。而当吸附进行一段时间后，由于表面吸附质的浓集，使其吸附能力明显下降而吸附净化的要求，此时需要采用一定的措施使吸附剂上已吸附的吸附质脱附，以协的吸附能力，这个过程称为吸附剂的再生。因此在实际吸附工程中，正是利用吸附一再生一再吸附的循环过程，达到除去废气中污染物质并回收废气中有用组分。
燃烧法用于处理高浓度Voc与有恶臭的化合物很有效，其原理是用过量的空气使这些杂质燃烧，大多数生成二氧化碳和水蒸气，可以排放到大气中。但当处理含氯和含硫的有机化合物时，燃烧生成产物中HCl或SO2，需要对燃烧后气体进一步处理。
等离子体就是处于电离状态的气体，等离子体由大量的子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，但电子和正离子的电荷数必须体表现出电中性，这就是“等离子体”的含义。等离子体具有导电和受电磁影响的许多方面与固体、液体和气体不同，因此又有人把它称为物质的第四种状态。根据状态、温度和离子密度，等离子体通常可以分为高温等离子体和低温等离子体（包子体和冷等离子体）。其中高温等离子体的电离度接近1，各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡状态，它主要应用在受控热核反应研究方面。而低温等离子体则学非平衡状态，各种粒子温度并不相同。其中电子温度( Te)≥离子温度(Ti)，可达104K以上，而其离子和中性粒子的温度却可低到300～500K。一般气体放电子体属于低温等离子体。
