特点
抽速范围广，从1升/秒到17升/秒
适用于电源电压与频率，110/220/380/460V,50/60Hz
高效环保，不返油也不喷油，创造洁净真空和洁净工作环境
操作简单，能在大气压和真空之间频繁启动与关闭
低振动，低噪音，低能耗
重量轻、体积小
用途
镀膜，PVD/CVD/LPD
LED/LCD/激光管抽真空与封装
真空炉/单晶炉/烘箱
电子束焊接/激光焊接
手套箱/排气台
预处理室/样品传输室抽真空
激光管抽真空/封接
真空检漏/He质谱检漏
稀有/特殊气体回收/再循环
冷凝泵再生
分子泵前级
空间环境模拟
表面分析仪器/能谱仪/扫描电镜
光束线
技术指标
型号 | GWSP75 | GWSP150 | GWSP300 | GWSP600 | GWSP1000 | ||
抽速 | 50Hz | l/s | 1.0 | 2.0 | 4.3 | 8.7 | 16.6 |
l/min | 60.0 | 120.0 | 258.0 | 522.0 | 996.0 | ||
m3/h | 3.6 | 7.2 | 15.5 | 31.3 | 59.8 | ||
极限真空度 | Pa | ≤8.0 | ≤6.0 | ≤2.6 | ≤1.0 | ≤1.0 | |
Torr | ≤6.0×10-2 | ≤4.0×10-2 | ≤1.9×10-2 | ≤7.5×10-3 | ≤7.5×10-3 | ||
mbar | ≤8.0×10-2 | ≤6.0×10-2 | ≤2.6×10-2 | ≤1.0×10-2 | ≤1.0×10-2 | ||
噪音 | dB(A) | ≤52 | ≤57 | ≤61 | ≤63 | ≤63 | |
漏率 | 1×10-6mbar·l·s-1 | ||||||
大进/排气压力 | MPa | 0.1 / 0.13 | |||||
工作环境温度 | ℃ | 5～40 | |||||
大水处理能力 | G/day | 50 | 60 | ||||
单相 | 功率 | kW | 0.25 | 0.25 | 0.55 | 0.75 | -- |
电压 | V | 50～60Hz/110～115 : 200～230 | -- | ||||
转速 | rpm | 50Hz /1425; 60Hz /1725 | -- | ||||
接头形式 |
| 北美，欧洲，英国/爱尔兰，印度 | -- | ||||
三相 | 功率 | kW | -- | 0.37 | 0.55 | 0.75 | 1.50 |
电压 | V | -- | 50 Hz/200～230 : 380～415; 60 Hz/200～230 : 460 | ||||
转速 | rpm | -- | 50Hz /1425; 60Hz /1725 | ||||
进/排气口 |
| KF25/16 | KF25/16 | KF25/16 | KF40/16 | KF40/16x2 | |
外形尺寸 | mm | 405x225x260 | 430x250x280 | 490x290x340 | 520x316x360 | 580x360x400 | |
净重 | kg | 15 | 18 | 27 | 31 | 52 | |
冷却形式 | 风冷 | ||||||
其它 | 带气镇阀 | ||||||
使用注意事项
不能抽对人体有害或者易爆、易燃或腐蚀性气体，或者含有化学品、溶剂、以及能生成粉末的物质，以免由于爆炸或者燃烧引起人身伤害。
进气温度不能超过50℃，如果超过该温度，必须在进气管路上安装冷却装置，使进气温度低于50℃。
