所有在无尘室中使用的真空吸尘器都必须具备HEPA（高效过滤器）过滤功能，可以有效过滤掉0.3微米的微尘粒子达到99.97%。此外，HEPA（高效过滤器）必须后置于马达，也就是说马达运转产生的灰尘也可以被HEPA过滤掉。请注意：不是所有的HEPA过滤系统都后置于马达。一般常用的TIGER-VAC CR-1（带HEPA）和NILFISK GM80（带HEPA）的HEPA（高效过滤器）都后置于马达，所以他们过滤效果可以适用到CLASS100的无尘室环境。但有些工业吸尘器，虽然也配置HEPA（高效过滤器），比如STARMIX系列的吸尘器，但他们的HEPA（高效过滤器）是前置于马达，所以没办法过滤掉马达运转产生的灰尘，因此这些型号的吸尘器我们一般不*用到无尘室。
吸尘器可以配置HEPA过滤器，但却没办法做到强排风。真空吸尘器真正达到无尘室的要求，除了配置HEPA或ULPA过滤器以外，还要做到强排风（一台吸尘器只允许有一个进风口和一个出风口），才能保证吸入的灰尘100%的经过HEPA或ULPA过滤。家用的吸尘器或者一般普通工业吸尘器都做不到强排风，他们把灰尘吸进去以后，又从不同的出风口泄漏出来，造成洁净室的二次污染。同时把原本静止的灰尘又重新扬起来，落到产品上影响产品的良率。
购买真空吸尘器时还需考虑环境的干湿度 有液体环境下的无尘室选择干湿两用无尘室吸尘器。没有液体的无尘室选择干式无尘室吸尘器。因为干式无尘室吸尘器只能用来过滤灰尘，不能用来吸液体，否则吸尘器电机会烧掉。但是一般干式无尘室吸尘器的过滤效果比干湿两用无尘室吸尘器效果好一些。
洁净室、无尘室或无菌室，是半导体工业、医学、生物化学、食品界等*之重要设施；近年随着国人生活及教育水准的提高，无尘环境除了为产业界之必要条件，对医院手术室、加护病房、烫伤病房、婴儿室等等乃至食品加工的无菌要求，亦成为业界负责的承诺及大众关心自身权益zui重要的一环。
一般传统的无尘室清洁方式有：用无尘拖把、粘尘滚筒或无尘擦拭布除尘。对这几种方式的测试发现，使用无尘拖把清洁容易造成无尘室的二次污染，擦拭效果只能达到CLASS1000的要求。使用几次下来，无尘拖把的擦拭效果并不理想，甚至产生掉絮的现象。使用粘尘滚筒清洁无尘室地面，效率不高，而且需要大量的人力，一般客户选择粘尘滚筒清洁机台或产品，很少用来清洁地面。使用无尘擦拭布擦试地面，擦拭效果比较好，但相对成本太高，一片等级很差的聚酯纤维擦拭布价格也要在0.3元以上。能擦拭到的地面有限，而且不能重复利用。目前客户比较常用也容易接受的清洁方式是无尘室吸尘器，或者也称为洁净室吸尘器。
使用无尘室吸尘器，不但可以有效的过滤掉灰尘，同时可以把灰尘控制在机器内部，有效的处理无尘室的污染问题。
