本镀膜设备是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术、孪生阴极、中频溅射技术,并配以*的控制系统,镀制SO2/ITO膜层,生产过程全部自动、连续进行。
主要组成部分
1 真空室:不锈钢制造,立式,外壁通冷却水,内衬不锈钢挡板
2 真空系统:可选扩散泵系统,蜗轮分子泵系统或低温泵系统
3 蒸发源:直流磁控溅靶和孪生阴极,中频磁控溅射靶,分别固定在真空室两例
4 工件烘烤:采用不锈钢管状加热器配合热板,确保基片加热均匀性
5 充气系统:气体质量流量计和压强自动控制仪
6 电气控制系统:触摸屏与PLC自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与制
7 水冷系统:真空室冷却和阴极冷却,有水压保护开关和水湿开关
主要技术参数:
极限真空压力:7*10-4pa
平均生产周期:90秒/架
基片导尺寸:750*1200mm
总功率:350kw
直流磁控靶功率:20kw
中频磁控靶功率:10kw
东莞市汇成真空科技有限公司是一家专门从事各种真空应用设备类的研发、生产和销售为一体的民营高科技企业。公司目前拥有员工300余人,其中高、中级以上技术职称人员35人,公司还聘请了国内真空行业*的专家及技术人员,专门负责公司真空设备新产品的研发与设计,确保真空设备产品的高技术、高品质。公司拥有一支高效的营销团队,同时建立了专业的售后队伍,解决设备在使用过程中遇到的各类疑难问题,免除客户的后顾之忧。本着环保为宗旨,公司发展再上一个新台阶,已将其设备销向东南亚,中东,欧美等国家。
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真空镀膜设备
ITO导电玻璃镀膜设备 产品信息