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深圳市普威科新能源装备有限公司


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反应气体发生器

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反应气体发生器
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更新时间：2023-02-14 20:08:22浏览次数：99次

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深圳市普威科新能源装备有限公司

经营模式：其他

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产品简介

基于NF3等含氟气体电力，产生活性气体，广泛应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功能大，效率高等特点

详细介绍


基于NF3等含氟气体电力，产生活性气体，广泛应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功能大，效率高等特点。

产品有：


  • ASTRON i-AX7670(3升)
  • ASTRON ex-AX7685(6升)
  • ASTRON hf-s-AX7645(15升,分体式）
  • ASTRON hf-AX7640（15升）
  • ASTRON hf+AX7635（22升）
  • ASTRON hf++AX7667（30升）


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