美世伟洛克SWAGELOK超高纯气体过滤器SCF

美世伟洛克SWAGELOK超高纯气体过滤器SCF
美世伟洛克SWAGELOK SCF 系列
■ Membralox 陶瓷过滤技术
■ 真正的世伟洛克® VCR® 面密封接头
■ 在大流速下对 0.003 µm 的颗粒移除率超过 99.9999999%
■ 流速为 2700 标准升/分

美世伟洛克SWAGELOK超高纯气体过滤器SCF

美世伟洛克SWAGELOK SCF 系列

■ Membralox 陶瓷过滤技术

■ 真正的世伟洛克® VCR® 面密封接头

■ 在大流速下对 0.003 µm 的颗粒移除率超过 99.9999999%

■ 流速为 2700 标准升/分

美世伟洛克SWAGELOK SCF 系列 UHP 过滤器

世伟洛克 SCF 系列 UHP 气体过滤器可达到 SEMI E49.8-96 的

严格要求。SCF 系列 UHP 过滤器采用有的 Membralox 陶瓷元

件和 316L VAR 不锈钢壳体，是适用于许多要求苛刻的气体过滤

应用的解决方案。

特点

■ 高效清除颗粒

■ 颗粒脱落率低

■ 优异的水分烘干特性

■ 脱气率低

■ 优异的化学相容性

■ 高压差额定值

■ 直通全焊结构

■ 大流速：30、225、600、900 和 2700 标准升/分

■ 端接：1/4、1/2 和 3/4 英寸整体式外螺纹 VCR 面密封接头；

1/4 英寸内螺纹 VCR 面密封接头

■ 行业标准长度；请参阅订购信息和尺寸。

结构材料

陶瓷过滤元件：高纯铝

垫片；高密度 PTFE

外壳：316L VAR 不锈钢/SEMI F20 高纯度，低允许 20 %

延伸率

美世伟洛克SWAGELOK Membralox 陶瓷过滤技术

Membralox 陶瓷过滤元件是多层过滤介质。材料是有精密控制孔隙结构的高纯铝。

Membralox 陶瓷元件采用种挤压多流道块状或管状结构。结构内流道的表面涂有精密控制膜层。终烧结过程把这些层熔合在起。

结果就得到具有颗粒脱落率低、流量特性高特点的过滤元件。按照 SEMI F38-0699 测试时，该过滤器的清除等在 0.003 µm 时为大于 99.9999999 %。

Membralox 陶瓷过滤元件具有耐高温和化学稳定性能，以及优异的颗粒清除和漏气特性。

零部件号阀体材料接头 1 尺寸接头 1 类型接头 2 尺寸接头 2 类型

SS-SCF3-VR4-P-225316L VAR1/4 in.面密封（金属垫片）外螺纹 VCR1/4 in.面密封（金属垫片）外螺纹 VCR

SS-SCF3-VR4-P-30316L VAR1/4 in.面密封（金属垫片）外螺纹 VCR1/4 in.面密封（金属垫片）外螺纹 VCR

SS-SCF3-VR8-P-225316L VAR1/2 in.面密封（金属垫片）外螺纹 VCR1/2 in.面密封（金属垫片）外螺纹 VCR

SS-SCF3-VR8-P-600316L VAR1/2 in.面密封（金属垫片）外螺纹 VCR1/2 in.面密封（金属垫片）外螺纹 VCR

Ss- SCF3-VR4-P-30

SS SCF3-VR4FR4-P-30

Ss- SCF3-VR4-P-225

Ss- SCF3-VR4FR4-P-225

SS SCF3-VR8-P-225

Ss- SCF3-VR4-P-600

Ss- SCF3-VR8-P-600

Ss- SCF5-VR4-P-900

Ss- SCF5-VR8-P-900

Ss SCF11-VR8-P-2700

SS SCF11-VR12-P-2700

美世伟洛克SWAGELOK超高纯气体过滤器SCF

序号品牌中文简称主要产品产地备注

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2NILOS-RING尼罗斯轴承盖、密封件、轴承金属密封圈、档环德国*

3SPIETHSPIETHSPIETH-MASCHINENELEMENTE锁紧螺母，螺母，联轴器,胀套，紧固件德国*快速报价

4NorelemNorelemNORELEM联轴器，NORELEM钻套, NORELEM定位表、NORELEM夹具，NORELEM平面表德国*

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56            OEMER Motori elettrici              OEMER                            电机         意大利

57            RICKMEIER           瑞克梅尔                   齿轮泵       德国

58             BRECO                             BRECO®- 和 BRECOFLEX®           同步带       德国

59         STROMAG              斯通马格              开关，制动器，           德国