空气洁净度等级标准

2016

08-31

11:05:13

 5124

来源：上海民仪电子有限公司

ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个*指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。

根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

空气洁净度分级标准： ISO14644-1 （标准）

空气洁净度等级（N）	大于或等于所标粒径的粒子zui大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
空气洁净度等级（N）	0.1 um	0.2 um	0.3 um	0.5um	1um	5 um
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1 000	237	102	35	8
ISO Class 4	10 000	2 370	1 020	352	83
ISO Class 5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29
ISO Class 6	1 000 000	237 000	102 000	35 200	8 320	293
ISO Class 7				352 000	83 200	2 930
ISO Class 8				3 520 000	832 000	29 300
ISO Class 9				35 200 000	8 320 000	293 000
注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。

空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996 （中国标准）

美国联邦标准 209D 洁净室分级：（已停用）

空气洁净度等级（N）	大于或等于所标粒径的粒子zui大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
空气洁净度等级（N）	0.1 um	0.2 um	0.3 um	0.5um	5 um
1	35	7.5	3	1
10	350	75	30	10
100		750	300	100
1000				1000	7
10000				10000	70
100000				10000	700

英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级：

空气洁净度等级（N）	大于或等于所标粒径的粒子zui大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
空气洁净度等级（N）	0.3um	0.5um	5um	10um	25 um
C	100	35	0
D	1000	350	0
E	10000	3500	0
F		3500	0
G	100000	35000	200	0
H		35000	200	0
J		350000	2000	450	0
K		3500000	20000	4500	500
L			200000	45000	5000
M				450000	50000

各种标准的比较：

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