日本ULVAC CFB-1600复合分子泵技术资料

2016

08-31

11:05:11

 367

来源：上海民仪电子有限公司

一、产品简介

复合分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵，是由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成，它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高，牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点，扩展了分子泵的应用范围，广泛应用于光伏、照明、航天航空、半导体、能源、*、激光、家电、材料、汽车、科研等真空技术的各个领域。

二、产品特点

复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应；由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和捕油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。

三、主要性能指标

型号		CFB-1600
订货号		3155	3156
进气口法兰	—	LF250	CF250
排气口法兰	—	KF50
抽气速率	L/s	1600
压缩比N2/H2	—	1×109/1×104
极限压强	Pa	5×10-7	8×10-8
电机转速	rpm	21000
启动时间	min	＜6
振动值	μm	≤0.15
前极泵	L/s	15
冷却水温度	℃	≤20
泵体烘烤温度	℃	<120
冷却水流量	L/min	1
加热器功率	W	<700
加热器输入电压	V	AC220
安装方向	—	垂直±5°
重量	kg	～39

四、特性曲线及安装尺寸

CFB系列复合分子泵安装尺寸表

型号规格	CFB-1600
进气口法兰	LF250	CF250
D1	Ф290	Ф305
D2	Ф296	Ф296
D3	□183.8	□183.8
L1	161	161
L2	166	166
H1	394	394
H2	110	110
H3	142.5	142.5
H4	104	104
泵腿螺钉孔	4-M8	4-M8

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