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日本ULVAC CFB-1600K抗冲击分子泵技术资料

2016
08-31

11:05:10

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来源:上海民仪电子有限公司

日本ULVAC CFB-1600K抗冲击分子泵 一、产品简介

        CFB-K系列抗冲击分子泵转子采用国家新型加工而成,提高了叶齿强度,分子泵高速旋转时可以抵抗瞬时5000Pa的大气冲击和粉尘,广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、*、激光、家电、新材料、汽车等真空技术的各个领域。

 

 日本ULVAC CFB-1600K抗冲击分子泵 二、产品特点

        具有高压强、抽速大的特点,对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得高真空和超高真空。

 

 日本ULVAC CFB-1600K抗冲击分子泵 三、主要性能指标

 

型号

CFB-1600K

订货号

3183

3184

进气口法兰

LF250

CF250

排气口法兰

KF50

抽气速率

L/s

1600

压缩比N2/H2

1×109/1×104

极限压强

Pa

5×10-7

8×10-8   

电机转速

rpm

21000

启动时间

min

<6

轴承

陶瓷轴承

前极泵

L/s

15

振动值

μm

≤0.15

冷却水温度

≤25

泵体烘烤温度

<120

冷却水流量

L/min

1

泵口耐压

Pa

7000

加热器输入电压

V

AC220

安装方向

垂直±5°

重量

kg

~35

 

四、特性曲线及安装尺寸

 

CFB系列抗冲击分子泵对大气的抽速曲线 

CFB系列抗冲击分子泵对氮气及氢气压缩比曲线

CFB系列抗冲击分子泵安装尺寸表

型号规格

CFB-1600K

进气口法兰

LF250

CF250

D1

Ф290

Ф305

D2

Ф296

Ф296

D3

□183.8

□183.8

L1

161

161

L2

166

166

H1

394

394

H2

110

110

H3

142.5

142.5

H4

104

104

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