日本ULVAC CFB-600复合分子泵技术资料

2016

08-31

11:05:10

 306

来源：上海民仪电子有限公司

日本ULVAC CFB-600复合分子泵一、产品简介

复合分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵，是由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成，它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高，牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点，扩展了分子泵的应用范围，广泛应用于光伏、照明、航天航空、半导体、能源、*、激光、家电、材料、汽车、科研等真空技术的各个领域。

日本ULVAC CFB-600复合分子泵二、产品特点

复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应；由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和捕油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。

日本ULVAC CFB-600复合分子泵三、主要性能指标

型号		CFB-600
订货号		3151	3152
进气口法兰	—	LF160	CF150
排气口法兰	—	KF40
抽气速率	L/s	600
压缩比N2/H2	—	1×109/8×103
极限压强	Pa	5×10-7	8×10-8
电机转速	rpm	24000
启动时间	min	＜4.5
振动值	μm	≤0.1
前极泵	L/s	4-8
冷却水温度	℃	≤20
泵体烘烤温度	℃	<120
冷却水流量	L/min	1
加热器功率	W	<550
加热器输入电压	V	AC220
安装方向	—	垂直±5°
重量	kg	～29

四、特性曲线及安装尺寸

CFB系列复合分子泵安装尺寸表

型号规格	CFB-600
进气口法兰	LF160	CF150
D1	Ф180	Ф202
D2	Ф236	Ф236
D3	□45.7	□145.7
L1	128	128
L2	137	137
H1	395.5	395.5
H2	108	108
H3	135.5	135.5
H4	104	104
泵腿螺钉孔	4-M8	4-M8

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