直流四探针电阻率测试仪通用技术条件

直流四探针电阻率测试仪通用技术条件

准确度（见表2）

>500 ~1000Ω·cm±5%±10%

>0.001~0.01Ω·cm

分辨率<0.05%<0.1%

电阻率Ω·cm10-4~10410-3~2×103

显示器CRT显示不规定

电压准确度±0.1%±0.3%

薄层电阻Ω/□10-3~10510-2~2×104

具有空调的专用清洁室；室内无强电磁场干扰，无强光直接照射，没有明显的振动和波动。电源要求：电压：（220±10%）V；频率：（50±1%）Hz；波形：正弦波。

>0.001~0.01Ω·cm

电阻Ω10-3~10510-2~2×104

恒流源性能（见表6） 恒流源对于测试电路为浮置，可自动或手动变换电流方向。

四探针测试仪等级III

模拟电路试验准确度（见表4）

注：为模拟电路中标准电阻测量值的平均值。平均*工作时间（MTBF），对I、II级仪器都是1000h。

稳定度优于0.05%优于0.1%

在另外两探针上测量其电位差，利用通入的电流和测量的电位差等数据，以及相应公式经过运算处理得到被测量的参数。

仪表仪表类别>4位数字表>3位数字表

>0.01~500Ω·cm±3%±5%

四探针测试仪等级III

注：1）在多量程的四探针测试仪中，各档的输入阻抗可与上表不同，表中所给的数值是指电阻率量程档的输入阻抗。

探头外观要求应符合SJ/T10315标准的规定。使用环境要求，大气压：（86~106）kPa；温度：（23±5）℃；相对湿度：不大于65%；

>500 ~1000Ω·cm2%（2）3%（2）

四探针测试仪的表面平整光滑，无划痕、压伤、变形、锈蚀现象，涂复层不得脱落。零部件的安装应牢固无松动，有防松动措施，开关、旋钮的调节应方便，操作应灵活。

输入阻抗1）MΩ>1000>500

非线性度<0.1%<0.5%

四探针测试仪等级III

安全要求：电源输入端与机壳间的绝缘电阻应大于500MΩ。电源进线应有保险器。电源输入端与机壳间应能承受1500V（有效值）交流电压历时1分钟，无击穿与飞弧现象。

薄层电阻 R 材料内平行于电流方向的电势梯度除以电流密度与材料厚度的乘积，当厚度趋近于零时，其值为薄层电阻。

四探针测试仪等级III

标准偏差<3%<0.5%

读数

准确度±0.1%±0.2%

恒流范围mA0.001~2000.01~100

电阻率  材料内平行于电流方向的电势梯度与电流密度之比，又称体电阻率，单位为欧姆·厘米（Ω·cm）。

测量电路（见表5）

四探针测试仪等级III

四探针测试仪等级III

相对误差±0.3%±0.5%

修正系数，当探针间距、被测样品的几何形状与尺寸等满足不了基本公式所要求的理想条件时，需要在基本公式中附加一些系数进行修正，这些系数称为修正系数。

整机综合技术指标，测量范围（见表1）

2）指灵敏度情况下的漂移。

>0.01~500Ω·cm1%（2）2%（2）

零点漂移2）±4字/h±2字/h

重复性（见表3）

除下述术语外，本标准所采用的电工名词术语、四探针探头名词术语分别按GB2900.1《电工名词术语、基本名词术语》和SJ/T10315《四探针探头通用技术条件》的标准规定。

表 1

各修正系数的定义、计算公式、使用条件等见附录A。直流四探针电阻率测试仪，用来测试材料电阻率、薄层电阻和电阻的探针测试装置。

技术要求：外观结构要求，四探针测试仪的外观结构应符合下列原则，布局合理、美观大方、结构紧凑、显示清晰、操作方便、易于维修。

四探针测试仪等级III

主要技术性能，四探针测试仪按主要技术性能分为I、II级，在I 级仪器中按自动化程度分为A、B两档。

表 3

纹波系数<0.1%<0.2%

由四探针探头、直流恒流电源和测量仪表等组成。用规定的压力将探头上四根探针与被测样品表面形成欧姆接触，在其二根探针上通以电流。

显示、记录仪表（见表7）

四探针测试仪面板上的文字符号和标志清楚无误，符合有关标准规定。位移机构的动作应平稳，操作方便，噪声小。

使用直线形排列与正方形排列的四探针测试仪，电阻率的基本计算公式及公式的使用条件等见附录A。

记录仪有不规定

恒流源负载电阻必须满足下列要求：当某电流值通过可调负载电阻时，负载电阻上必须有不小于10V的电压可调量。

形式上为薄层电阻率除以材料厚度，单位为欧姆/方块（Ω/□）。使用直线形排列和正方形排列的四探针测试仪，薄层电阻R的基本计算公式及公式的使用条件等见附录A。