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上海唯科电气有限公司
INFICON公司生产的BCG 450型B-A 皮拉尼电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在个小型经济的规管中,测量过程压强和基本压强从5x10-10**1500毫巴(3.75X10-10**1125乇)。BCG450用于取代二种传感器(热离子,对流增强型皮拉尼和真空开关),从而节省成本和宝贵的空间。
INFICON(英福康)真空规/真空计
B-A 型皮拉尼电容膜片真空计
TripleGauge® BCG450
INFICON B – A 型皮拉尼电容薄膜真空计,BCG450,将三种不同的真空计
组合在一个小型,经济的真空规管中,测量过程压强和基本压强 5 x 10-10
** 1500 毫巴 (3.75 x 10-10 ** 1125 乇). BCG450 用于取代三种传感器
(热离子,对流增强型皮拉尼和真空开关),从而节省成本和宝贵的工具空间.
优势
■ BCG450 节省成本和设备空间,降低真空测量的安装与设置的复杂性
■ 10 乇以上的与气体类型无关的压强测量,对许多混合气体提供****的 自锁控制
■ 皮拉尼联锁保护热灯丝,防止过早烧毁
■ 自动的高真空和**压皮拉尼调整,无需操作人员干预
■ 相对于**压的差压测量,免除了与**压变化有关的不稳定性
■ 传感元件容易**换,内置校准数据保证数据的再现性
■ 可选图形显示器和 Fieldbus 接口
用途
■ 半导体工艺,传送和自锁室的压强测量
■ 工业镀膜
■ 低****高真空范围中系统的一般真空测量和控制
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