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深圳市业冠仪器设备有限公司
光干涉透射法检测元件厚度差的原理:在激光干涉仪进行透射测量时,激光光源发出的单色光,垂直向下经过被检元件上、下两表面被标准反射镜反射后会形成干涉条纹,每个点上所生的干涉条纹取决于该点上两相干的光的光程差
序号 | 名称 | GBM01A |
1 | 测量原理 | 菲索干涉原理 |
2 | 激光器 | 半导体激光器 635nm |
3 | 有效孔径 | 30mm (单孔单波段) |
4 | 标准镜面形精度 | 0.05λ |
5 | 面形值重复精度 | PV 0.06λ(标准片) |
6 | 面形值量程 | PV 0~3λ |
7 | 测试时间 | PV测试:1秒;条纹数测试:1秒内 |
8 | 夹具 | 有 |
9 | 软件 | 有 |
10 | 电源 | 220V 60W |
11 | 通讯接口 | USB |
12 | 重量 | 15Kg |
13 | 自动化接口 | 预留 |
仪器参数:
序号 | 名称 | GBM01A |
1 | 测量原理 | 菲索干涉原理 |
2 | 激光器 | 半导体激光器 635nm |
3 | 有效孔径 | 30mm (单孔单波段) |
4 | 标准镜面形精度 | 0.05λ |
5 | 面形值重复精度 | PV 0.06λ(标准片) |
6 | 面形值量程 | PV 0~3λ |
7 | 测试时间 | PV测试:1秒;条纹数测试:1秒内 |
8 | 夹具 | 有 |
9 | 软件 | 有 |
10 | 电源 | 220V 60W |
11 | 通讯接口 | USB |
12 | 重量 | 15Kg |
13 | 自动化接口 | 预留 |
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