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哈司特镍合金UCH-M系列气体过滤器

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更新时间：2023-11-14 12:34:11浏览次数：88次

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张家港普瑞伦半导体设备有限公司

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产品简介

● 全部材质采用哈司特镍合金®。● 高洁净度：全部产品交付出货时，内部经过特殊洗净，通入高纯度氮气的同时进行高温烘烤处理。● 高流量高压差的情况下，也能高效率的除去0.003μm以上の粒子。● 高耐热性能460℃● 具备10ℓ/min的小流量用到250ℓ/min的中流量用的各种型号供选择。● 低压力损失：和以前的金属过滤器相比较，压力损失极低、体积小巧且能够处理高流量的气体。

详细介绍

过滤精度0.003μm　推荐流量15～250L/min

● 全部材质采用哈司特镍合金®。

● 高洁净度：全部产品交付出货时，内部经过特殊洗净，通入高纯度氮气的同时进行高温烘烤处理。

● 高流量高压差的情况下，也能高效率的除去0.003μm以上の粒子。

● 高耐热性能460℃

● 具备10ℓ/min的小流量用到250ℓ/min的中流量用的各种型号供选择。

● 低压力损失：和以前的金属过滤器相比较，压力损失极低、体积小巧且能够处理高流量的气体。

规格：

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