当前位置：北京市北氧特种气体研究所有限公司>> 超高纯氦气净化器
北氧牌高纯氦气终端纯化器采用组合式净化气的工艺路线，净化原理是：原料气首先通过催化反应器，由高效催化氧化剂氧化脱除氢、氧、一氧化碳、甲烷（烃类）等大部分气体杂质，得到高品质氦气。如气体纯度要求达到>99.9999%，则采用复合金属合金净化剂吸收残余的氦气中的微量气体杂质，得到超高纯氦气。
产品气流量：1-300Nm3/h
产品纯度：99.9999-99.9999999%
特点：本产品可现场再生，材料选用不锈钢抛光材料，处理精度高，流量大，寿命10年以上，经过净化后的气体可达到ppb级净化。
应用范围：航天航空、化学研发、微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、研发。
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