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Teledyne API水冷式臭氧发生器

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更新时间：2023-02-26 13:53:35浏览次数：114次

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产品简介

Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的，可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿台流程中。OG-5000系列设计紧凑，使用水冷系统，能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。

详细介绍

Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000

OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的，可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿台流程中。OG-5000系列设计紧凑，使用水冷系统，能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。