电子显微镜振动监测仪-低频加速度传感器-三轴压电加速度传感器 VA-2C
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广州市固润光电科技有限公司
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在21世纪的纳米技术 (如代表信息相关技术的*半导体，声明科学相关技术，如基因治疗，原子或分子处理，如MEMS和新材料生成等工程技术)，振动，噪音，电磁场，热量，湿度，干扰等等将是测量环境的制约因素。在纳米技术中，为取得可靠的结果，难以使用气浮台隔振的低频范围，需要主动隔振。桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础，将有助于促进当前技术和测量，创新和发展未知技术。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 宽范围内可在所有六个自由度上提供出色的主动隔振性能。
简述：
在21世纪的纳米技术 (如代表信息相关技术的半导体，声明科学相关技术，如基因治疗，原子或分子处理，如MEMS和新材料生成等工程技术)，振动，噪音，电磁场，热量，湿度，干扰等等将是测量环境的制约因素。在纳米技术中，为取得可靠的结果，难以使用气浮台隔振的低频范围，需要主动隔振。
桌面式主动防振台-Herz TS Series主动隔振系统将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础，将有助于促进当前技术和测量，创新和发展未知技术。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 宽范围内可在所有六个自由度上提供出色的主动隔振性能。
工作原理：
桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series采用的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。
产品特征：
注：TS 系列也可用作振动器。可选配外部激励器盒，但需市售功能发生器和BNC 电缆。
搭载设备：
性能对比（TS-150/LP）：
– 振动加速度对比
右侧数据显示TS-150/LP的隔振性能，水平(X, Y) 和垂直(Z)。
蓝线: 地面振动加速度
红线: TS-150/LP表面安装板加速度
– 振动传递率
右侧数据显示地面到TS-150/LP表面安装板的振动传递率，水平(X, Y) 和垂直(Z)。
垂直轴: 传递率，单位：dB
(20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、 -40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001)
该数据表明主动隔振系统在1 Hz -100 Hz 低频范围内具有优异的隔振性能。
桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series技术参数：
结合隔音箱，创造测量环境：
对于原子或分子研究，如扫描电子显微镜， TS系列主动隔振系统至关重要。此外，不仅要考虑振动，还应考虑声学抑制。我们所生产的AEk 隔音箱适用于超高分辨率应用，如SPM。将 AEk和TS系列整合可提供的测量环境。
搭配 AEK-2002 隔音箱：AEK系统采用多层可变密度隔声材料层，可有效隔离宽频带噪声。
TS 应用示例：
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