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东莞市盛雄激光先进装备股份有限公司
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采用进口紫外纳秒激光器、自行研发成丝技术、聚焦光束直径小至1-2μm，激光光束质量好，高峰值功率、窄脉宽、高脉冲稳定度，聚焦光斑小，加工速度快，热影响区小确保对面板无损伤；
采用高精密直线电机平台和全闭环光栅检测控制系统，保证机床的定位和重复精度；
配备高像素CCD 相机，具有图像自动识别、高精度图像定位动能；并可抓各类丝印的Mark标（靶标：圆形 十字 菱形 十字加实心圆），也可以抓工件边角、倒角、钻孔等；
配备工业专用控制电脑，全过程电脑软件自动控制，操作简易，整机性能稳定，可长期运行；
采用高刚性结构设计、减震机床脚杯和天然大理石组成的机床基座，既能消除工作台启动/停止和加速过程中产生的惯性震动，也可有效防止因气候变化温差引起的床身应力变形；
12年激光微细加工系统研发设计技术积淀确保性能稳定，2万小时无耗材。
| 光学单元 | ||
|---|---|---|
| 序号 | 项目 | 参数 |
| 01 | 激光器类型 | 1064nm纳秒 |
| 02 | 冷却方式 | 恒温风冷 |
| 03 | 激光功率 | ≥3W |
| 04 | 光束质量 | M²＜1.3 |
| 05 | 加工头数 | 四头 |
| 06 | 最小聚焦光斑直径 | Φ1-2μm |
| 激光加工性能 | ||
|---|---|---|
| 序号 | 项目 | 参数 |
| 01 | 加工速度 | ≤120mm/s |
| 02 | 加工尺寸&精度 | 750X650mm,±20μm |
| 03 | CCD定位视觉精度 | ±3μm |
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