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上海央米智能科技有限公司
兆声清洗机,清洗均匀、细微的损伤基本没有、于半导体晶片和HDD部品等的超精密清洗。利用加速度和化学的作用除去微米以下的颗粒。可设定对应不同的清洗物以及装置的各种形状的振板。接液部的材质对应于清洗液和洁净度,使用不锈钢-钽-石英等材料来制作。
兆 声 清 洗 系 统
高 频 兆 声 清 洗 机
Tank type
YMMS
● 兆声振板,用于组装槽式兆声清洗设备;
● 1MHz超高频波,更精细的声处理效应;
● 均匀的兆声声场,振板表面声强可超过5W/cm2;
● 的石英及蓝宝石耦合技术,无杂质脱落风险;
● 超低的声空化效应,不损伤器件表面;
● 高防腐性,可耐各种酸碱溶液及有机溶剂;
兆声清洗特点
兆声波清洗不会产生强烈的空化效应,可以避免在清洗过程中造成对清洗对象表面的损伤与污染物残留。兆声波清洗效率高、时间短,使用清洗剂浓度低,化学试剂的消耗量少,因此对环境的危害水平较低。
设备优势
● 可直接安装到清洗槽底部的兆声振板,方便二次开发;
● 兆声发射声场分布均匀,提高清洗均匀度;
● 极低的超声空化效应,不会对器件表面造成损伤;
● 大功率兆声波换能器,振板表面声强可达5W/cm2以上;
● 石英或蓝宝石匹配层技术,无杂质脱落到器件上的风险;
● 可全面非金属高防腐材质,适应各种酸碱及有机溶剂;
● 的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性;
● 第三代半导体技术的兆声发生器,全面实现数字化高频大功率驱动;
设备特性
● 输入功率:600-1200W;
● 频率:1MHz;
● 有效清洁面积:135-160mm;
● 兆声振板,用于组装槽式兆声清洗设备;
● 1MHz超高频兆声波,更精细的声处理效应;
● 均匀的兆声声场,振板表面声强可超过5W/cm2;
● 的石英及蓝宝石耦合技术,无杂质脱落风险;
● 超低的声空化效应,不损伤器件表面;
● 高防腐性,可耐各种酸碱溶液及有机溶剂;
● 兆声发射声场分布均匀,提高清洗均匀度;
● 可全面非金属高防腐材质,适应各种酸碱及有机溶剂;
● 的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性;
技术参数
● 输入功率:600-1200W
● 频率:1MHz
● 有效清洁面积:135-280mm
● 材质:电抛光表面
● 重量:3-7kg
● 对应晶圆尺寸:6-8inch
● 液体温度范围:5-80℃
● 传感器:PZT
兆 声 清 洗 系 统
高 频 兆 声 清 洗 机
Tank type
YMMS
● 兆声振板,用于组装槽式兆声清洗设备;
● 1MHz超高频波,更精细的声处理效应;
● 均匀的兆声声场,振板表面声强可超过5W/cm2;
● 的石英及蓝宝石耦合技术,无杂质脱落风险;
● 超低的声空化效应,不损伤器件表面;
● 高防腐性,可耐各种酸碱溶液及有机溶剂;
兆声清洗特点
兆声波清洗不会产生强烈的空化效应,可以避免在清洗过程中造成对清洗对象表面的损伤与污染物残留。兆声波清洗效率高、时间短,使用清洗剂浓度低,化学试剂的消耗量少,因此对环境的危害水平较低。
设备优势
● 可直接安装到清洗槽底部的兆声振板,方便二次开发;
● 兆声发射声场分布均匀,提高清洗均匀度;
● 极低的超声空化效应,不会对器件表面造成损伤;
● 大功率兆声波换能器,振板表面声强可达5W/cm2以上;
● 石英或蓝宝石匹配层技术,无杂质脱落到器件上的风险;
● 可全面非金属高防腐材质,适应各种酸碱及有机溶剂;
● 的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性;
● 第三代半导体技术的兆声发生器,全面实现数字化高频大功率驱动;
设备特性
● 输入功率:600-1200W;
● 频率:1MHz;
● 有效清洁面积:135-160mm;
● 兆声振板,用于组装槽式兆声清洗设备;
● 1MHz超高频兆声波,更精细的声处理效应;
● 均匀的兆声声场,振板表面声强可超过5W/cm2;
● 的石英及蓝宝石耦合技术,无杂质脱落风险;
● 超低的声空化效应,不损伤器件表面;
● 高防腐性,可耐各种酸碱溶液及有机溶剂;
● 兆声发射声场分布均匀,提高清洗均匀度;
● 可全面非金属高防腐材质,适应各种酸碱及有机溶剂;
● 的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性;
技术参数
● 输入功率:600-1200W
● 频率:1MHz
● 有效清洁面积:135-280mm
● 材质:电抛光表面
● 重量:3-7kg
● 对应晶圆尺寸:6-8inch
● 液体温度范围:5-80℃
● 传感器:PZT
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