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上海央米智能科技有限公司
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YMMS-MSC600作为一款小占地面积的理想设备，适用于研发科研使用，很容易放置在空间有限的洁净间进行清洗处理，也可用于掩膜版清洗，可选择兆声喷淋式喷头、兆声贴合式喷头配合PVA刷洗、化学药剂、DI清洗、DIW清洗、N2甩干、红外干燥等工艺进行自由搭配顺序来简历清洗菜单完成工作流程。
兆 声 清 洗 系 统
单晶圆兆声清洗机
Single wafer megatonic cleaning machine
YMMS-MSC600
兆声波清洗是利用换能器发出兆赫级高能声波, 溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，以强的声压梯度及声流作用产生的高速流体力学层连续冲击，使吸附的微细颗粒解吸的清洗技术。
兆声清洗特点
兆声波清洗不会产生强烈的空化效应，可以避免在清洗过程中造成对清洗对象表面的损伤与污染物残留。兆声波清洗效率高、时间短，使用清洗剂浓度低，化学试剂的消耗量少，因此对环境的危害水平较低。
设备特性
◆ 仪器型兆声清洗设备
◆ 石英喷头：兆声喷头角度可调整（可选配多种流量型号）
◆ 兆声清洗设备，采用兆声清洗喷头技术，可提供纳米级湿法清洗
◆ “干进干出" 一步工艺以的投资和购置成本来实现
◆ 无损兆声清洗，试剂，PVA刷洗
◆ N2甩干，转速可设置
◆ 全彩触摸屏控制及友好的人机交互界面
◆ 工艺顺序自由搭配建立清洗菜单，多段速设置
◆ 内置顶式FFU净化系统
◆ 进口高精密流量控制阀门数值拟定
◆ 独立液体排放单元可以和厂务接口对接
◆ 多种工艺配方储存
◆ 漏液检测报警装置
◆ 应急DI固定臂
◆ 设备骨架不锈钢外包NPP材质
兆 声 清 洗 系 统
单晶圆兆声清洗机
Single wafer megatonic cleaning machine
YMMS-MSC600
兆声波清洗是利用换能器发出兆赫级高能声波, 溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，以强的声压梯度及声流作用产生的高速流体力学层连续冲击，使吸附的微细颗粒解吸的清洗技术。
兆声清洗特点
兆声波清洗不会产生强烈的空化效应，可以避免在清洗过程中造成对清洗对象表面的损伤与污染物残留。兆声波清洗效率高、时间短，使用清洗剂浓度低，化学试剂的消耗量少，因此对环境的危害水平较低。
设备特性
◆ 仪器型兆声清洗设备
◆ 石英喷头：兆声喷头角度可调整（可选配多种流量型号）
◆ 兆声清洗设备，采用兆声清洗喷头技术，可提供纳米级湿法清洗
◆ “干进干出" 一步工艺以的投资和购置成本来实现
◆ 无损兆声清洗，试剂，PVA刷洗
◆ N2甩干，转速可设置
◆ 全彩触摸屏控制及友好的人机交互界面
◆ 工艺顺序自由搭配建立清洗菜单，多段速设置
◆ 内置顶式FFU净化系统
◆ 进口高精密流量控制阀门数值拟定
◆ 独立液体排放单元可以和厂务接口对接
◆ 多种工艺配方储存
◆ 漏液检测报警装置
◆ 应急DI固定臂
◆ 设备骨架不锈钢外包NPP材质
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