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上海驭洁净化设备有限公司
超高效过滤器特点△采用全自动生产工艺,安全可靠,运行效果稳定;△捕集率高,容尘量大;△每一台ULPA出厂前都经过严格的检测
超高效过滤器特点
△ 采用全自动生产工艺,安全可靠,运行效果稳定;
△ 捕集率高,容尘量大;
△ 每一台ULPA出厂前都经过严格的检测。
用途
¤ 超LSI制造工厂、半导体制造工厂、原子力研究中心、高洁净等级无尘室、层流设备等要求超高洁净度的场所。
外形尺寸(mm)宽*高*深 额定风量 m³/h 容尘量 (g) 面风速 m/s 初阻力 Pa 终阻力 Pa 效率 0.1-0.2μm 610*610*50 470 450 0.35 ≤170 400 99.9995% 610*610*70 600 650 0.45 610*610*90 800 800 0.6 915*610*50 1750 950 0.35 915*610*70 900 950 0.45 915*610*90 1200 1200 0.6 1170*570*70 1300 1300 0.45
注:尺寸可根据客户要求定做。
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