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上海基泰生物科技有限公司
Agilent 7500 ICP-MS电感耦合等离子体质谱-ICP-MS,是一种新型的无机元素和同位素分析技术,可快速同时检测周期表上几乎所有元素。ICP-MS技术在分析能力上,超过传统的无机分析技术如电感耦合等离子体光谱技术(ICPAES)、石墨炉原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技术(CVAAS)的总和,被称为当代分析技术最激动人心的发展。最近,与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。
可快速同时检测周期表上几乎所有元素
的检出限(低至ppq级)
分析效益/成本比
最宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
谱线、干扰最小,准确度和精密度好
需要样品量很低(ul至ml),分析速度很快(1~3分钟/样品)
检测模式灵活多样
半导体工业常用材料中超痕量污染物分析:
固体:Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料;高纯金属电极等
液体:超纯水;HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
气体:SiH4;TE0S;NF3;N2等
1、带内置自动进样器的7500ce ICP-MS主机;
2、真空泵;
3、循环制冷机;
4、计算机和软件。
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