二手刻蚀机现货供应MATRIX SYSTEM ONE 106 返回列表页

二手刻蚀机现货供应MATRIX SYSTEM ONE 106，1995年设备，可对4-6英寸的晶圆进行蚀刻工艺加工。

制造商:MATRIX

型号:SYSTEM ONE 106

类别:ETCHERS / ASHERS

年份:1995

晶圓尺寸:4"-6"

设备详细信息:

自动光刻胶剥离器，4“-6"

单晶片

单盒

微处理器控制的自动光刻胶剥离机

射频功率

温度

气流

基板位置

交错电极组件

蝶阀

相位幅度检测器

闭环控制

整体晶圆冷却站

卡盘温度的闭环控制

（2） 质量流量控制器（MFC）：1x5 SLPM和1x300 SCCM

晶圆销提升组件（上下）

范围：

钢带：150°C-250°C（±5°C）

温度：100摄氏度-150摄氏度（±5摄氏度）

1995年份。