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ASML二手翻新现货KrF光刻机AT:750

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更新时间：2023-02-25 13:40:35浏览次数：62次

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ASML二手翻新现货KrF光刻机AT:750是248nm深紫外系统

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ASML二手翻新现货KrF光刻机AT:750是248nm深紫外系统。TWINSCAN平台允许使用轨道处理设备和300毫米自动材料处理系统进行左手或右手配置，以实现的晶圆厂布局。KrF光刻机AT:750保证130nm分辨率和20nm覆盖精度，并具有可在0.50到0.70之间任意调节的数值孔径，以实现工艺宽容度。

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