当前位置:青岛佳鼎分析仪器有限公司>>光刻机>> ASML二手光刻机现货PAS 5500/275D
ASML PAS 5500/275D 是一款高吞吐量 i-line 步进机。它利用 5X 缩小和投影能力,通过步进和重复使用 365 nm 波长的光将光掩模图案转移到用户基板上,并具有 280 nm 分辨率。全自动晶圆处理系统可以容纳从 200 毫米直径晶圆到小块的基板。
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