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Nikon尼康二手i-line光刻机NSR 2205 i12D

Nikon尼康二手i-line光刻机NSR 2205 i12D
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更新时间：2023-02-25 12:55:16浏览次数：50次

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尼康的这款i-line光刻机NSR2205i12D是欢迎的光刻系统之一

详情介绍

尼康的这款i-line光刻机NSR 2205i12D是欢迎的光刻系统之一。分辨率≦350 nm，曝光光源i-line（365nm波长），缩小比1:5，曝光场22mm*22mm至17.9(H)*25.2(V)mm(6-inch reticle), 20.0*20.4mm(5-inch reticle), 对准精度 (EGA,|M|+3σ)≦55nm。NIKON NSR 2205i12D是步进器和扫描仪系统。NSR 2205i12D可用于8英寸晶圆尺寸。

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