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尼康Nikon二手i线步进式光刻机 NSR-SF155

尼康Nikon二手i线步进式光刻机 NSR-SF155
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更新时间：2023-02-24 17:16:00浏览次数：32次

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产品简介
i线步进式光刻机NSR-SF155适用于广泛的半导体器件的制造

详情介绍

i 线步进式光刻机 NSR-SF155 适用于广泛的半导体器件的制造。采用悬吊投影镜头、减轻震动的“天钩构造"。
通过高速运转的晶圆工作台，实现了每小时 200 片以上 300 mm 晶圆的高产出。
尼康光刻机NSR-SF155参数
● 超高产出
采用了步进式光刻机的新平台“天钩构
造"，同时晶圆工作台可高速运转，从而大幅
度降低了振动，并实现了高产出。达到了每小
时 200 片以上 300 mm 晶圆的超高产出。
● 高重合精度
采用了“天钩构造"与配重物。并重新配置了
空调管路，有利于工作室内的散热。实现了

25 nm 以下的重合精度。

尼康光刻机NSR-SF155


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