青岛华旗科技有限公司
免费会员

当前位置：青岛华旗科技有限公司>>半导体工艺装备>> 高温氧化炉(1500）

高温氧化炉(1500）

高温氧化炉(1500）
参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地

在线询价 收藏产品 查看联系电话

更新时间：2023-02-25 08:04:46浏览次数：55次

联系我时，请告知来自 化工机械设备网
同类优质产品更多>
产品分类品牌分类
产品简介
产品信息简介：1500高温氧化炉系统应用于246SiC或Si晶圆片的高温氧化等的特殊工艺

详情介绍

  • 产品信息
    简介：
     
     1500高温氧化炉系统应用于2”4” 6”SiC或Si晶圆片的高温氧化等的特殊工艺。 
     
    设备特点： 
     
    ◆优化结构设计 占地面积小
     
    ◆灵活多样的工艺调整
     
    ◆极易维护操作使用
     
    ◆极地维护使用成本
     
    ◆的可靠性
     
     产品性能： 
     
    ◆工艺温度可达1500℃（炉体可达更高的温度）
     
    ◆小批量R&D为5~25片/炉，生产型为50~100片/炉
     
    ◆常压/真空压力控制，极限<10-3mbar，工艺压力：800~1000mbar
     
     ◆炉型结构：水平/垂直

会员登录

×

请输入账号

请输入密码

=

请输验证码

收藏该商铺

X
该信息已收藏！
查看我的收藏夹设置标签
标签：
保存成功

(空格分隔,最多3个,单个标签最多10个字符)

常用：

提示

X
您的留言已提交成功！我们将在第一时间回复您~

商铺网址： https://www.huajx.com/st76268/  

  • 扫一扫访问手机商铺

以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，化工机械设备网对此不承担任何保证责任。

温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。

在线留言