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科研型LPCVD系统 __ 水平系列

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更新时间：2021-12-07 08:41:14浏览次数：91次

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产品简介
产品信息产品性能：◆满足2~8（12）寸晶圆工艺◆占地面积小

详情介绍

  • 产品信息
    产品性能：
     
    ◆满足2~8（12）寸晶圆工艺
     
    ◆占地面积小，水平多管/立式单管
     
    ◆3温区，300mm,5~25片/批
     
    ◆温度：200~1000℃
     
    配套工艺：
     
    ◆多晶硅P-Si，氮化硅Si3N4，氧化硅SiO2
     
    ◆磷硅玻璃PSG，硼磷硅玻璃BPSG
     
    ◆TEOS，LTO，HTO，SIPOS...
     
     

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