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LPCVD系统 __ 水平系列

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更新时间：2021-12-07 08:33:48浏览次数：83次

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产品简介
产品信息简介：水平LPCVD系统应用于IC集成电路、MEMS、功率器件、纳米技术、光电子器件等领域

详情介绍

  • 产品信息
    简介：
    水平LPCVD系统应用于IC集成电路、MEMS、功率器件、纳米技术、光电子器件等领域。
     
    产品性能：
     
    满足4~8寸晶圆工艺
     
    每台1~4/5管，石英/SiC反应管
     
    恒温区：800/1000/1250mm
     
    温度：200~1000℃
     
    高精度可靠的自动压力控制系统
     
    全自动机械手装卸，悬臂/软着陆
     
    高集成度，完整的工厂MES系统对接
     
    配套工艺：
    多晶硅P-Si，氮化硅Si3N4，氧化硅SiO2
     
    磷硅玻璃PSG，硼磷硅玻璃BPSG
     
    TEOS，LTO，HTO，SIPOS...
     
     

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