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快速RTP/RTO

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更新时间：2021-12-07 08:32:26浏览次数：84次

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产品简介
产品信息简介：RTP系统用于IC集成电路，MEMS器件、光电子器件、LED、太阳能电池领域，适用于晶圆的快速热处理工艺

详情介绍

  • 产品信息
    简介：
    RTP系统用于IC集成电路，MEMS器件、光电子器件、LED、太阳能电池领域，适用于晶圆的快速热处理工艺。
     
    产品性能：
     
    热壁双腔/卤钨灯加热式/感应加热式
     
    结构方式：水平/垂直
     
    温度：200~1100℃
     
     
    配套工艺：
     
    快速退火、合金（RTA / RPP）
     
    快速氧化、氮化（RTO / RTN）
     
    快速气相沉积（RTCVD）

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