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更新时间：2021-11-08 10:38:10浏览次数：138次

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为在线薄膜厚度测量设计的非接触式电容传感器，在线测量厚薄的同时，不会对膜面产生刮伤，特别适用于较黏性及表面敏感的薄膜生产。

探头具有两个并联工作的传感器分别产生不同的电容。此项合并可以不受距离的因素而仍能计算厚度。在持续改变空气间隙（范围从100至350um）的情况下它不会影响结果。




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