日本东丽toray半导体制造设备氧气表MS-500-秋山科技（东莞）有限公司

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更新时间：2021-05-21 16:18:49浏览次数：95次

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日本东丽toray半导体制造设备氧气表MS-500

日本东丽toray半导体制造设备氧气表MS-500

测量原理			氧化锆轻型电池
形状			分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式）
显示方式			4位数字显示（密度显示）
测量范围			0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2　10 -20?10 -0大气压自动范围
重复性			在±0.5％FS 0-1％范围内或以上 ±1％FS以下或≤± 0.1ppm大于0-1ppm的0-1％内，atm范围超出保证的浓度范围
测量点数			1-8
样气条件	压力		10 -3至200 KPa（压力）
	流量		0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然扩散状态的测量）
	湿度		露点低于环境温度
	温度		0-100℃
	其他		不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气			大气层
记录仪输出			仅变速箱输出
变速箱输出			RS-232C
报警输出			没有
热身时间			6分钟以内
尺寸	MS-500（控制器）		92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起）
	MS-510（转换器）		100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起）
	传感器单元	SD16NW	总长100 mm（感应部分Φ11×39，主体部分Φ40×51）
		SD25NW	总长100mm（感应部分Φ11×42，主体部分Φ40×48）
		SD40NW	总长100 mm（感应部分Φ11×41，主体部分Φ40×49）
大众	MS-500（控制器）		约0.6Kg
	MS-510（转换器）		约0.5kg
	传感器单元	SD16NW	约0.2Kg
		SD25NW	约0.2Kg
		SD40NW	约0.35Kg
外部连接			真空法兰之一（NW16、25、40）
使用电源			24VDC±10％

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