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经济型、通过等离子化气体的活性作用对处理对象表面进行改质、清洗
YAMATO雅马拓等离子清洗机 PM100特点
● 经济型等离子清洗机。
● 简单的等离子处理操作。
● 无需高频使用申请。
值得期待的应用案例
<清洗>
● 有机膜的去除（油，蜡等有机膜）。
● 电子零件，光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理。
● 细菌的消毒等（通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒）。
<表面改质>
● 高分子材料表面的官能基付与→ 粘合性，密着性提高。通过氧化反应，在表 面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影响）；
● 电子零件，光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理。
● 细菌的消毒等（通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒）。 同样，氮气等离子时，表面吸取氮原子生成-NH2官能基。
● 提高各种聚合物的粘结性以及提高医科齿科材料的生物相容性等。
● 通过处理培养皿可以在其上均匀涂抹培养基等。
<蚀刻>
● 有机高分子材料的蚀刻。对于有机高分子氧气成为蚀刻气体，可以进行抗蚀剂的蚀刻。
● 促进种子发芽等实验。
YAMATO雅马拓等离子清洗机 PM100规格
型号 | PM100 |
等离子发生源 | 低频高电压电源，输出约100W，周波数60KHz、输出电压10kV |
电机构造 | 电容型 2分割 |
气体流量计 | 氧气用、流量30～300mL/min |
真空调整阀门 | 抽真空用，回大气用 |
反应腔尺寸 | 内径100mm×深度大约200mm |
外形尺寸（宽×深×高mm） | 310×300×448 |
电源 50/60Hz | AC100V 10A（含真空泵Max7A） |
真空泵接口 | 外径Φ6.35mm（*真空泵排气速度30L/min） |
气体接口 | 外径Φ6.35m |
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