烟雾发生器利用超声雾化的原理,将DI水雾化成1-10微米左右的大量水滴,建立一个气溶胶,于是在4-6磅的背压下由风扇吹出,可以显示出洁净室气流组织状态,发现湍流。其可以满足多方面的应用，如100级及以上级别的净化车间，这个小的，易用的工具可以仅仅使用DI水就可以显示出在控制区域的气流组织和湍流现象，喷雾输出大约在60华氏度，单个风扇吹出4CFM的雾量，持续约30分钟，开关控制喷雾，100-10000级净化车间用16兆欧DI水，1-10级净化车间需要64兆欧的DI水。