电镜能谱一体机 ProX

第五代飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 是的集成化成像分析系统，分辨率提升 20%，进一步增加应用范围，更加适用于对电子束敏感的样品。借助该系统，既可观察样品的表面形貌，又可分析其元素组分。

研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器，飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是*集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。

Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

	Phenom Pro	Phenom ProX	Phenom XL
光学放大	20 - 135 X	20 - 135 X	3 - 16 X
电子光学放大	80 - 150,000 X	80 - 150,000 X	80 - 100,000 X
分辨率	优于 8 nm	优于 8 nm	优于 14 nm
数字放大	Max. 12 X	Max. 12 X	Max. 12 X
光学导航相机	彩色	彩色	彩色
加速电压	5 kV - 15 kV  连续可调	5 kV - 15 kV  连续可调	5 kV - 20 kV  连续可调
真空模式	高分辨率模式 降低荷电效应模式	高分辨率模式 降低荷电效应模式	高分辨率模式 降低荷电效应模式 高真空模式
探测器	背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配)	背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配)	背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配)