莱芜承接集成电路净化车间安装工程

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莱芜承接集成电路净化车间安装工程

针对集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度，不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。

举个例子，集成电路前工序洁净厂房，无尘车间设计按加工、生产5英寸硅片、256K集成电路、图形特形尺雨2.0um，控制粒子粒径0.2um.

无尘车间空气洁净度等级要求：

光刻、匀胶区             ISO 3级

离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区   ISO 4级

离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区   ISO 6级

莱芜承接集成电路净化车间安装工程，对于洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

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