上海民仪电子有限公司
主营产品: 仪器仪表、电子设备、分析仪器、静电耗材、计量衡器 |
上海民仪电子有限公司
主营产品: 仪器仪表、电子设备、分析仪器、静电耗材、计量衡器 |
参考价 | 面议 |
更新时间:2016-08-31 09:14:29浏览次数:91
联系我们时请说明是化工机械设备网上看到的信息,谢谢!
日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵特长
● NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
● 低噪音、低振动
● 优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
● 选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵用途
◆ 活性气体(CVD、刻蚀等)
◆ 排出非活性气体(溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)
◆ 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
◆ 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)
◆ 冷冻干燥等水蒸气排气