VPS干式螺杆真空泵特征

1) 工作腔内无水无油，通过转子转动产生清洁真空。
2) 单级设计可使固体废弃物更容易排出并大幅减少留在泵内的残余物。
3) 通过特殊涂层处理，可用于抽取有毒、有腐蚀性及可凝性气体。
4) 工作方式不使用油或水，大幅降低操作成本。
5) 密封方式为机械或双唇密封。
6) 简便的设计易于设备维护。
7) 螺杆与螺杆之间及泵体与螺杆之间无接触，使用寿命长。
8) 气体通过泵体可迅速排出。
9) 螺杆转子具有较高的容积效率。
10) 较低的转速可降低振动及噪音。

干式螺杆泵的应用范围：

  在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀（PECVD）和反映离子刻蚀（RIE）工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆（PLASMA）的CVD制程中。此工艺要求返流为0，以保护工件免受污染。
  在石油化工中，主要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。
  制药行业，用于药物的真空干燥，药物中间体回收，回收气体消毒剂，为人造器官提供清洁无菌条件等。
  化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工艺
  工业排气；集中式真空处理系统
  挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
  混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染，及喷射器中的阻塞物。
  涉及无忧污水真空处理的所有应用
  食品行业用于香料，香精浓度，食品包装等。

VPS?大型干式螺杆真空泵?参数表

（变螺距干式螺杆真空泵）