Entegris过滤器 Wafergard®II SF 3XP

   Entegris是材料完整性管理的*。该公司提供技术，产品和服务解决方案，净化，保护和运输半导体和其他高科技行业中使用的关键材料。这些解决方案在制造和服务，并在美国，中国，法国，德国，日本，马来西亚，新加坡，韩国和中国台湾提供支持。Entegris获得ISO 9001认证。

   Entegris公司主要产品：Entegris过滤器。

   Entegris有*的承诺质量的传统。Entegris为获得ISO 9001：2000认证，Entegris的质量管理体系的基础以及ISO 14001认证感到自豪。此外，Entegris聘用许多其他质量工具，流程，控制和政策 - 所有开发，以满足苛刻的需求Entegris的流程和Entegris的客户的*需求。ISO 9001认证承诺客户满意度的组织自愿追求Entegris的设计，制造和服务流程的质量。它验证Entegris的产品和服务是用符合标准的书面质量控制程序生产的。

Entegris过滤器

   当涉及空气，散装气体或规格气体的过滤和净化时，Entegris拥有专业知识，技术和解决方案，以满足您的需求。无论是使用点还是散装气体输送，在室内还是在晶片上，在洁净室或工具上，Entegris都有提供高性能气体和空气净化和过滤产品以满足您的需求的悠久历史。

   Entegris超纯气体过滤产品为超纯气体应用提供0.003微米颗粒过滤。Wafergard®气体过滤器可实现更高的工艺气体通量，同时减少整个气体盒的占地面积。

   用于超高纯度（UHP），高流量气体管线的Wafergard®II SF 3XP迷你在线气体过滤器均为316L不锈钢收缩管，设计流量比同类过滤器高三倍，高于三位数。设计用于高达500 SLPM的中等流速，*过滤UHP高流量应用，如扩散，退火，外延工具和连接。

Entegris过滤器。

产品参数：

长度

84 mm（3.31“） 94 mm（3.70“） 126.9 mm（5.00“） 133.5 mm（5.26“）

zui大流量

200 slpm

处理

散装气体输送 光刻 沉积 干蚀刻 离子植入

行业

半导体 平板显示器 数据存储 LED。

   产品型号：Wafergard®II SF 3XP、Wafergard®II SF Half、Wafergard®SF、Wafergard®II SF 3XP Mini XL、Wafergard®SF Micro XL、Unigard™、Gasketgard®。

    Entegris公司主要产品：Entegris过滤器。

Entegris过滤器。

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