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真空镀膜机PVD1912

真空镀膜机PVD1912

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  • 沈阳威利德真空技术有限公司
  • 2012-03-05 13:05:56
  • 沈阳市
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【简单介绍】

主要技术参数：
1. 极限真空度：8.0x10-4Pa；
2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；
3. 抽速：从大气抽至6.67x10-3Pa，＜15分钟；
4. 压升率：0.5Pa/小时；
5. 自转轴中心距：210mm；
6. 工位：20个（工件架Z大自转半径为180mm）；
7. 电气控制系统：PLC全自动控制，可动行多种工艺设置。

【详细说明】

主要技术参数：

1.      极限真空度：8.0x10-4Pa；
2.      工作真空度：6.67x10-3Pa；
3.      抽速：从大气抽至6.67x10-3Pa，＜15分钟；
4.      压升率：0.5Pa/小时；
5.      自转轴中心距：210mm；
6.      工位：20个（工件架zui大自转半径为180mm）；
7.      电气控制系统：PLC全自动控制，可动行多种工艺设置。
 

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