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上海晖盈实业有限公司
氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积技术,在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离,还可以减小传感器尺寸,确保高速响应和长寿命。OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制,用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量,测量氧气
特点:
使用寿命长,响应速度快:
由于使用了横河电机的新型薄膜沉积技术,传感器的寿命周期提高了三倍
圆柱形传感器设计便于置换被测气体,确保高速响应
高性能和高可靠性:
即使在低氧浓度下,仍具有*的精度和线性
在不同应用中,可选择泵式或抽提采样方式
内置功能和多种自诊断功能:
自带多选择器,自动量程,特定量程以及泵开/关功能
提供多种自诊断功能,以检测故障,如加热器温度错误,温度传感器断偶和传感器电阻值错误
出众的维护性:
可现场更换传感器
小型轻量,易于安装
主要技术参数:
测量对象 | 惰性气体中的氧气浓度 | ||||
测量系统 | 氧化锆系统 | ||||
采样方法 | 泵式、抽提式等 | ||||
样气条件 | 流速:200±25ml/min(仅适用于传感器) | ||||
测量量程 | 0~10ppm O2至0~100vol% O2 | ||||
输出量程 | 自动: | 0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,0~100%(默认) | |||
固定: | 设为0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,或0~100% | ||||
部分: | 可设置下限值或上限值 | ||||
模拟输出 | 2路输出,第一路:4~20mA DC(zui大负载电阻550Ω),第二路:可选为0~1,0~5,0~10V DC(负载电阻:10kΩ或更大) | ||||
接点输出 | 报警输出2点: | 错误接点,O2浓度报警接点 | |||
量程范围输出1点: | 接点输出 | ||||
多选择器(选配件): | 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出 | ||||
接点输入 | 1点:采样气体吸入泵的远程ON/OFF | ||||
自诊断 | 故障: | 传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止 | |||
报警: | 加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,超限 | ||||
串口通信 | RS-232,38400 bps | ||||
标定方法 | (1)3点:10ppm,1000ppm,空气,(2)2点:可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定 | ||||
暖机时间 | 20分以内 | ||||
电源 | 100~120V AC/220~240V AC,50/60Hz | ||||
功耗 | 100~120V AC,200VA zui大,220~240V AC,400 VA zui大 | ||||
尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm | ||||
质量 | 约5kg | ||||
管线连接 | 气体入口:Rc1/4或1/4NPT内螺纹 | ||||
环境条件 | 安装条件: | 室内,盘装或壁装,非易燃区域 | |||
环境温度: | 0~40℃,无结露 | ||||
环境湿度: | 5~85%RH | ||||
储存温度: | -5~50℃ | ||||
重复性 | ±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或100%) | ||||
线性 | ±2%F.S. | ||||
响应时间 | 90%响应 | ||||
漂移 | ±2%F.S./周 |
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