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手动硅片清洗设备
【简单介绍】
【详细说明】
◆ 可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。◆ 功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。 ◆ 清洗功能槽模块化,各部分有独立的控制单元,可随意组合。◆ 关键件采用进口部件,提高设备的可靠性及使用寿命。◆ 采用进口耐腐蚀PP板材,防酸、防腐,有效避免酸液的侵蚀。◆ 控制系统的元器件具备防腐、防潮功能,确保安全的工作环境。◆ 结构紧凑,占地面积小,造型美观、实用。◆ 操作符合人机工程原理,具有良好的操作界面,使用方便、灵活。◆ 闭式清洗,有效改善工作环境,保障操作人员安全
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