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半导体器件设备-硅片清洗机
- 公司名称：
- 更新时间：
- 所 在 地：
- 生产地址：
- 浏览次数：
- 苏州华林科纳半导体设备技术有限公司
- 2014-07-04 04:22:27
- 苏州市
- 苏州园区独墅湖高教区若水路398号
- 347
【简单介绍】
【详细说明】
设备由五大部分组成：清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。3.关键件采用进口件，包括气动阀，PFA管道、全氟循环系统，
保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。4.工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。
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