当前位置:上海贝丁汉工业自动化设备有限公司>> 微位移激光干涉仪ZLM800
产品功能
ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪,主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等,zui多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系测量检测物体的振动变化。
性能优势 技术参数
32 Bit (实时时间)
Dt » 20 ns
应用案例
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