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伯东公司代理等离子增强化学汽相沉积系统PECVD

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更新时间：2017-07-11 17:14:08浏览次数：284次

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经营模式：经销商

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所在地区：北京

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产品简介

伯东公司代理美国真空设备包括等离子增强化学汽相沉积系统PECVD、电子束蒸发台/热阻蒸发台E-beam/Thermal Evaporator、等离子刻蚀机 RIE/ICP、磁控溅射系统 Sputter、脉冲激光沉积/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE。

详细介绍

化学汽相沉积系统 PECVD 产品特色：zui大 8”样品或更小样品；适用于 SiN，SiO₂等高质量薄膜沉积；平行板电容式等离子发生器；高效率的真空系统；全自动--界面友好的工艺控制；射频功率可调，zui大600W，13.56MHz；标配 6路工艺气体，可用于CF₄，N₂O，N₂，NH₃，O₂，SiH₄，CH₄ and C₂H₆等气体；IBM 工业级电脑，80G硬盘，17”液晶显示器，实时显示工艺状态。