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上海一鸣过滤技术有限公司
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研磨液用高纳污量PZCY系列滤芯专为氧化物CMP、钨CMP及铜CMP中块状颗粒及胶体过滤设计，采用连续渐变孔径深层过滤技术，实现分级过滤，是滤芯具有高纳污空间，大大延长了使用寿命
PZCY系列滤芯专为氧化物CMP、钨CMP及铜CMP中块状颗粒及胶体过滤设计，采用连续渐变孔径深层过滤技术，实现分级过滤，是滤芯具有高纳污空间，大大延长了使用寿命。
优点特性
EPTY系列滤芯专门针对CMP研磨精密过滤设计，能有效拦截浆料中大颗粒，放行有效颗粒，保证研磨液中颗粒大小的均匀性。稳定性，采用非对称膜结构，使滤芯具有的纳污能力。
优点特性
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