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OTL-PECVD-1200三温区PECVD系统

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产品型号OTL-PECVD-1200

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厂商性质其他

所在地南京市

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更新时间：2023-07-05 15:29:50浏览次数：69次

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产品简介

产品摘要: OTL-PECVD-1200三温区PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、等优点。

详细介绍

产品描述

OTL-PECVD-1200三温区PECVD系统详细介绍：

OTL-PECVD-1200三温区PECVD系统，由OTL1200真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。

主要特点：

1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

OL1200-PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、等优点。

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

(1)、表面温度高可达1420℃

(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站：

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

2、安装有空气开关和漏电保护器：

当电路过流或漏电时，空开会自动断开。

OTL-PECVD-1200三温区PECVD系统技术参数：

型号	功率	炉管尺寸mm	外形尺寸mm	电源电压
OTL-PECVD--1200-60	5.4KW	φ60*1500	1200410610	220V
OTL-PECVD--1200-80	5.4KW	φ80*1500	1200410610	220V
OTL-PECVD--1200-100	5.4KW	φ100*1500	1200410610	220V